調整機能を最適化した投影露光装置

Abstract

本発明は、物体視野を撮像するためのマイクロリソグラフィ用の投影装置であり、対物レンズと、前記対物レンズの1つまたは複数の光学素子を操作する少なくとも1つまたは複数のマニピュレータと、前記1つまたは複数のマニピュレータを調節または制御する制御ユニットと、前記対物レンズの少なくとも1つまたは複数の像収差を決定する決定デバイスと、像収差および/または前記マニピュレータの移動量の上界を含む、前記対物レンズの1つまたは複数の仕様に関する上界を収容したメモリとを備え、前記少なくとも1つのマニピュレータを遅くとも30000ms、または10000ms、または5000ms、または1000ms、または200ms、または20ms、または5ms、または1ms以内に調節または制御することにより、前記像収差のうちの1つが前記上界のうちの1つをオーバーシュートしたこと、および/または前記マニピュレータ移動量のうちの1つが前記上界のうちの1つをオーバーシュートしたことが判定されたときに、前記上界のアンダーシュートを達成することができる投影装置を提供する。

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